晶體生長
發(fā)布時(shí)間:2020-05-25來源:洛陽賽樂電子科技有限公司點(diǎn)擊:2671
感應(yīng)加熱廣泛應(yīng)用于晶體生長領(lǐng)域,硅區(qū)熔提純,區(qū)熔硅芯,所用感應(yīng)加熱仍為電子管式高頻電源,其頻率多為2-3MHz,功率幾十***百kW。目前固態(tài)電源技術(shù)由于器件***,仍無法替代傳統(tǒng)電子管式感應(yīng)加熱。
IGBT電源多用于碳化硅,藍(lán)寶石,硅連鑄的生產(chǎn)。對電源的輸出穩(wěn)定性要求極高,不控整流移相調(diào)功由于受到電網(wǎng)電壓波動影響,采用恒流模式調(diào)功會導(dǎo)致直流功率波動,溫度變化。即便是采用恒功率模式,逆變回路功率因數(shù)仍會隨著電網(wǎng)電壓波動,造成溫度、溫場變化,***終產(chǎn)品出現(xiàn)瑕疵或不合格。目前高精度的晶體生長電源會采用直流斬波電源消除這種影響。
由于晶體生長受熱場,加熱結(jié)構(gòu),生長工藝等多重因素影響。我們的電源具備晶體生長應(yīng)用的功能及性能,但不作為主要市場方向。
全數(shù)字化,高精度斬波結(jié)構(gòu)
加熱坩堝,或材料引紅后加熱。
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